B81C 1/00 | Изготовление или обработка устройств или систем, выполненных внутри общей подложки или на ней (B81C 3/00 имеет преимущество) [7] | |
B81C 3/00 | Сборка устройств или систем из отдельно обработанных компонентов, подвергающихся обработке [7] | |
B81C 5/00 | Способы или устройства, не отнесенные к группе B81C 1/00 или B81C 3/00 [7] |